集成电路设备

里程碑！工信部推广国产DUV光刻机：套刻≤8nm

快科技9月14日消息，近日，工信部发布《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》。工信微报介绍称，重大技术装备是国之重器，事关综合国力和国家安全

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